新型 Aerotech QNP-L 平台的行程范围从 100 µm 到 600 µm

 

 

应用包括： 工业与科研 实验室 纳米技术 显微镜 半导体 微电子 测试与检测 光学 光电 数据存储 精密机械 金属 生命科学 医疗器械

Aerotech (www.aerotech.com) 现已推出一系列压电纳米定位平台 ，结构小巧、刚性高，有着压纳米级的性能。此款新型 QNP-L 平台的行程范围从 100 µm 到 600 µm ，其高精度、无摩擦的柔性铰链 系统为其长久的使用寿命提供了保证。

这些平台价格低廉结构小巧，适用于需要高精度直线运动的实验室或者工业领域。它们具有出色的几何性能（直线度和角误差），同时将整体包装尺寸降低到最小。

这系列平台有开环和闭环两种选项。闭环模式采用电容传感器设计，能够产生亚纳米级定位解析度和高定位精度。这些传感器能够直接测量载物台的位置，与间接反馈计量技术（例如应变计反馈）相比具有更好的直线度和重复定位精度。

不带反馈的开环模式是一个低成本选项，适用于不需要绝对定位精度和重复定位精度的用途。同时有真空兼容版本选项。

QNP 系列包括 XY 和 Z 平台，这些平台可以很容易通过转接板组装在一起。

Aerotech 是领先全球的定位和运动控制产品供应商，其服务对象包括工业、政府、科研和研究机构。其产品为那些对于高定位精度、高产能运动控制解决方案有着苛刻要求的用途提供了至关重要的性能。