光束聚焦在技术光学的许多领域都有着重要的作用。一个具有合适焦距的单透镜是最简单的解决方案。但单透镜不够,因为曲面需要重新定位焦点。为了避免复杂的运动,所谓的f-theta透镜被设计用来补偿这种位置偏移,并提供一个均匀的图像区域。 此外,它们在整个扫描平面上具有一致的光斑大小。远心是在工作平面上提供垂直入射的一种选择。此外,希望使用大扫描区域,因为它们允许在不移动目标或光学单元的情况下处理较大的工件。 几年来,Sill Optics提供100 mm焦距的S4LFT4010系列。这组f-theta透镜适用于从UV到IR的不同波长区域,为增加注量提供了相对较小的光斑尺寸。S4LFT4125/075是紫外线激光的增强版,所有透镜元件均由熔融石英构成。扫描面积由35 mm x 35 mm提高到50 mm x 50 mm。尽管焦距更高,但在整个扫描区域内,输入光束直径为10 m m的情况下,可达到8 μm(1/e平方)的焦点光斑。S4LFT4126/292(515 nm– 545 nm)和S4LFT4127/328(1030 nm– 1090 nm)是焦距为125 mm的扫描镜头的另外两个选项。 此外,Sill Optics还推出了一系列65 m m焦距的紫外(S4LFT4067/075)、绿色(S4LFT4066/292)和红外(S4LFT4065/328)激光器,提供了15 mm x 15 mm的幅面尺寸,以达到3 μm(紫外)到10 μm(红外)范围内的光斑尺寸。 所有系列均采用熔融石英透镜和我们的行业证明的低吸收涂层。当然,在透镜元件或扫描镜上没有内部重影,因此它们与短脉冲激光兼容。新透镜系列的衍射限制为指定的输入光束直径。
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