5月20日,由深圳市大族半导体装备科技有限公司主办,第三代半导体产业技术创新战略联盟和深圳市半导体行业协会支持的“智造不凡,族领未来”半导体发展趋势研讨会暨大族半导体2022年新技术及关键装备发布会在深圳宝安圆满落幕。
大族半导体研发总监 巫礼杰 大族半导体在本次活动中,首次全球发布激光切片(QCB技术)新技术。大族半导体研发总监巫礼杰对该技术进行了全方位的介绍,充分体现了大族半导体在半导体技术上的研发底蕴与创新实力,并在此同期发布了两款全新设备:SiC晶锭激光切片机(HSET-S-LS6200)、SiC超薄晶圆激光切片机(HSET-S-LS6210),瞬间成为了全场的焦点。据巫总介绍,以切割2cm厚度的晶锭,分别产出最终厚度350um,175um和100um的晶圆为例,QCB技术可在原来传统线切割的基础上提升分别为40%,120%和270%的产能,这一革命性突破瞬间吸引众多行业内人士的关注。
激光切片(QCB技术)
技术优势
SiC晶锭激光切片机 HSET-S-LS6200
SiC超薄晶圆激光切片机 HSET-S-LS6210 (文章转载自网络,如有侵权,请联系删除)
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