什么是PDMS膜？

PDMS膜指的是聚二甲基硅氧烷薄膜。

PDMS膜一般是柔软、透明的，因具有化学惰性和良好的机械性能，目前被广泛应用于微流控、微型传感器、柔性电子器件、细胞培养或过滤等领域。

（PDMS膜微孔案例 显微镜图）

PDMS膜加工难点？

想要在PDMS膜上做高质量微孔、切割等操作，会存在一定的难度。

这是因为：PDMS膜本身质地柔软，机械加工或热应力会使得材料产生变形、熔边、卷边等。

此外，PDMS具有一定的弹性，机械加工或普通激光加工完成后会有尺寸收缩或膨胀，无法保证较高的精度和一致性。

特别是涉及10-50μm以下微孔或无碳化切割时，PDMS膜的加工难度系统则更大。

（PDMS膜20μm微孔案例 显微镜图）

如何解决PDMS膜微纳加工难题？

飞秒激光作为一种非接触式的“冷加工”，在PDMS膜加工时具有显著优势，值得推荐。

（1）热影响小，可避免熔边、变形：飞秒激光的脉宽极短，通常在几十到几百飞秒之间。超短脉冲时间意味着加工过程中产生的热影响区域非常小，因此可以避免PDMS膜的热损伤和变形，保持膜的表面质量和机械性能。

（2）加工精度高，可实现微小尺寸加工：飞秒激光具有极高的空间分辨率和精细加工能力，可以实现在PDMS膜进行微小尺度的加工，如微孔、盲孔、微通道等。如加工6μm微孔时，可以保证一致性较高，孔径精度控制±1μm内。

（PDMS膜微孔入口15μm案例 放大500倍图）

（3）非接触式加工，可避免应力收缩或膨胀：飞秒激光是非接触式加工，无机械应力作用，可避免外力拉扯或变形风险。

（PDMS膜微孔出口6μm微孔 放大1000倍图）

转自：微纳加工自留地

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