近日，高端工业激光装备制造商——中微精仪科技（深圳）有限公司（下称“中微精仪”）完成数千万元天使轮融资。本轮融资由东方富海独家投资，华君资本担任长期独家战略财务顾问。融资资金将主要用于研发投入和团队建设。

中微精仪成立于2024年11月，但其技术积累可追溯至2022年。公司专注于激光超精密加工领域，核心业务涵盖碳化硅晶锭激光剥离、金刚石激光剥离、水导激光精密加工等高端工业激光装备的研发与制造。

据公司提供的数据，在8英寸碳化硅晶锭剥离中，「中微精仪」的设备可将损耗控制在80微米以内，而传统线切割损耗在250微米左右，其他激光设备普遍也在120微米以上。这意味着，以20毫米厚的晶锭为例，采用公司的技术可产出40-46片350微米厚的晶圆。

在更前沿的金刚石切割领域，由于金刚石硬度极高，传统线切割几乎无法实现有效加工。公司采用激光剥离技术，实现了单晶和多晶金刚石的高速剥离，是国内最早突破大尺寸（30mm*30mm）金刚石切割的团队之一。

此外，中微精仪在水导激光方向也形成了自主技术布局。水导激光技术最早由瑞士公司开发，适用于对热损伤敏感的材料加工。公司是国内唯一实现从喷嘴、光学元件到水泵三大核心模组自主开发的团队，切割精度可达±5微米。

尽管成立时间不长，中微精仪已率先实现国产激光设备的出海。2025年3月，公司首台设备出厂测试，在客户现场展示效果后便直接获得订单。截至目前，公司已向海外客户实现数台销售，另有数台套设备正在外部测试中。