如果电子加速器可以制造得足够小和便宜，不仅每个大学都能够负担得起自己的加速器实验室，而且可以提供廉价的半导体工业中用于光刻工艺的相干X射线束源，这可以减小晶体管尺寸，在计算机处理器中增加集成密度。对于医疗用途，基于电子加速器的内窥镜可用于照射体内深处的肿瘤。

由美国Gordon和Betty Moore基金会资助的加速器芯片国际计划（AChIP）旨在在硅芯片上创建电子加速器。基本思想是用玻璃或硅代替金属制成的加速器部件，并使用激光代替微波发生器作为能源。

由于玻璃具有更高的电场负载能力，因此可以提高加速度，从而可以在更短的空间内将相同的能量传递到粒子，使得在传递相同能量时这种加速器比传统加速器所用时间缩短短约10倍。 

其中一个要面临的问题是芯片上电子的真空通道必须非常小，这要求电子束有很好的聚焦。因为传统加速器中使用的磁聚焦通道对此来说太弱，所以如果芯片上的加速器要成为现实，则必须开发全新的聚焦方法。

利用激光场聚焦电子

达姆施塔特工业大学（TU）的研究人员由Uwe Niedermayer领导，现在正在使用激光本身的电磁场将电子聚焦在仅420nm宽的通道内。该概念基于电子相对于激光的相位的突然变化，导致在芯片表面的平面中的两个方向上交替聚焦和散焦。