近日，由沈阳仪表院承担的辽宁省科技创新重大专项“高精密激光划片机工艺技术及装备研究”顺利通过验收，成功研制出国内先进的12英寸高精密微水束耦合激光划片机，填补了国内空白。

据了解，项目组历时四年，突破了一系列的技术瓶颈，在水束光纤耦合、高精密运动控制等一系列关键技术和工艺方面取得重大突破，对误差拟合和实时补偿、视觉对准、激光与微水束对准、设备可靠性分析、微水束激光加工等技术和工艺进行了研究和应用，开发了专用控制系统软件，成功研制出国内先进的12英寸高精密微水束耦合激光划片机。

目前，项目产品正在中国科学院半导体研究所示范应用，总体运行稳定。