面对我国智能制造2025战略，具有战略目光的科学家，卧薪尝胆，不断突破与掌握系列核心技术，发展激光增材制造、超快激光减材加工、激光直写等柔性制造工艺，在三维微结构器件、微机械、微光学、医学功能材料、光纤传感、工业芯片等方面具有多样化、成套完善的制造能力，依靠我国自主知识产权的表面三维微观形貌测量仪，才能成功提升和完善成套制造工艺的智能制造装备。

南京理工大学高志山教授课题组，在国家重大科学仪器设备开发专项和国防技术基础科研项目的资助下，在三十余年的干涉计量测试仪器与关键技术技术储备基础上，经过六年对显微干涉测试技术的技术攻关，完全掌握了大视场\长工作距干涉显微物镜光学设计、计算机辅助装校技术、批量化生产成套工艺、宽谱低相干垂直扫描相位复原\窄谱带移相算法、矩形台阶蝙蝠翼效应抑制技术等系统核心技术，拥有成套核心自主知识产权，编制了用户友好型中文操作软件，研制成功了光机电算一体化的宽谱低相干三维微观形貌显微干涉测试与分析系统。2018年荣获国防技术发明二等奖。

系统配置5X迈克尔逊型(Michelson)、10X、20X、50X米劳型（Mirau）干涉显微物镜组件；工作波段：可见光（可根据用户要求定制）；图像分辨率：1kx1k；轴向分辨率0.1nm；轴向量程最大100µm。与原子力显微镜、扫描隧道显微镜等其它非接触式测量方法相比，白光显微干涉测试技术在测量速率和成像视场上更具优势。与美国的Zygo公司、Veeco公司，英国的Taylor Hobson公司的同类产品相比，技术指标相当。

图1 三维微观形貌显微干涉测试仪及系列倍率显微干涉物镜

图2 三维微观形貌显微干涉测试仪软件操作界面

图3 典型样品的表面微观形貌测试结果