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大族激光称在研光刻机项目分辨率3-5μm已接到少量订单
材料来源:前瞻网          

大族激光8月10日在互动平台表示,公司在研光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用,目前已接到少量订单。

光刻机是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。而光刻机是中国芯片发展的最大障碍。

众所周知,高端芯片制造所需的光刻机一直以来被荷兰ASML公司垄断,一台精密光刻机售价上百亿,而我国半导体行业起步较晚,光刻机技术与ASML的差距非常大。

具体地,我国光刻机最高技术也就上海微电子所生产的90nm光刻机。除此之外,目前合肥芯硕半导体公司也具备量产200nm光刻机的实力,无锡影幻半导体公司也具备200nm光刻机量产的实力。而ASML则在7nm级别。

简单来看,这些数字差距可能看起来不大,但事实上,90nm跟28nm或者是7nm是千差万别的,光刻机每上一个台阶技术难度就会大大增加,可能从90nm升级到65nm并不难,但是从65nm升级到45nm,就是一个技术节点了,至于28nm、14nm和7nm,甚至未来有可能出现的3nm,那难度就更大了。也正因为如此,我国的光刻机的研发进度一直都比较缓慢。

据有关媒体报道,光刻机正成为华为的第四场战役。据悉,余承东在一次百人大会上的时候透露过,早在四年前,华为就已经为接下来集团的布局做好准备了,他们在2016年的时候就已经成立了团队去研发光刻机,现在已经取得了很大的进展。


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