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据了解,德国工业机械制造公司Trumpf与中国台湾地区工业技术研究院(ITRI)签署谅解备忘录,将在台南地区建立一个激光制造中心,预计将于明年投入运营。
从产业链分布来看,中国台湾地区在半导体代工、半导体制造、电子制造及测量等领域产业规模较大,对于先进加工工具的需求旺盛。该激光制造中心的设立,将有助于Trumpf进一步拓展半导体及电子领域市场应用。 除了机械加工设备之外,Trumpf公司还是世界三大激光源制造商之一,也是荷兰半导体设备制造商ASML的极紫外光刻系统的主要供应商。 据了解,2015年ASML向Trumpf公司订购了15台EUV光刻工具,Trumpf公司也多次表示将积极布局极紫外激光器,其投资了7000万欧元在德国迪琴根建设一座占地34000平方米的工厂,主要用于生产极紫外光刻所需要的激光器产品。 此外,Trumpf公司还收购Access Laser公司85%股份。Access Laser公司主要生产高精密低功率 CO2激光器用于极紫外光刻(EUV),这也是Trumpf公司主要的投资方向之一。作为光源,该CO2激光器和通快激光放大器共同部署于EUV系统。Trumpf公司表示,通过此次收购将整合EUV技术供应链领域关键成员。
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