近日，中科微精在超快激光三维雕铣技术方面取得阶段性重大突破。该公司攻克硬脆材料薄壁球壳复杂三维结构件超精密加工技术难题，可实现石英半球谐振子无热应力、无微裂纹加工，所加工的石英半球谐振子形位公差≤2μm、粗糙度Ra≤0.13μm、抛光粗糙度达到Ra≤0.04μm。该技术可解决传统机械加工石英半球谐振子效率低、废品率高，产能低等问题，对提升我国半球谐振陀螺制造技术具有重要意义。

作为一种性能优异的惯性导航仪器，半球谐振陀螺因具有高精度、高可靠性、长寿命、不受天气和电磁干扰等优点，广泛应用于航空、航天、航海、武器、运输、导航等领域。石英半球谐振子属硬脆薄壁球壳复杂三维结构件，作为半球谐振陀螺的核心敏感零件，其加工精度和振动特性直接决定着半球谐振陀螺的工作性能。

目前国内普遍采用机械方式加工石英半球陀螺，但因石英半球谐振子的异形薄壳结构硬度大，脆性强，对内外球面和支撑杆的形状精度和位置精度要求很高(亚微米级)，机械加工制造方式效率低，废品率高，加工精度难以保障。同时机械加工产生的应力会对半球陀螺谐振子的性能造成很大的影响，因此市场上迫切需求创新石英半球谐振子制造新理论、新概念、新方法、新装备。

中科微精运用超快激光加工的石英半球谐振子

针对上述困境，中科微精打破常规，创新性提出采用超短脉冲激光三维雕铣加工的方式解决这一难题，目前，通过超快激光加工石英半球谐振子在国内尚属首例，国际上也鲜有报道。

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