30W纳秒紫外激光器

Marble UV-30

产品背景

随着激光精细微加工技术在高精尖元器件制造领域的广泛应用，工业产品向微型化、精密化、高性能化方向发展，半导体、消费电子、生物医学等尖端科技领域对于激光加工精度、加工效率、热影响区域控制等方面提出了更高要求。

在此背景下，贝林激光推出新品30W纳秒紫外激光器（Marble UV-30）。新款采用先进的谐振腔设计及腔内热补偿技术，可实现稳定的紫外激光输出。此外，其高精度、高效率、高稳定、高灵活的“四高”特点，使其成为微纳加工领域的又一利器，助力优化激光精准加工方案。

PART 01 - 产品优势

高精度加工

• 优秀的光束质量

Marble UV-30的光束质量M2<1.3，确保加工过程的高精度。

频率60kHz，在距出光口300mm位置实测光斑圆度为98.73%。

在精密加工时，如微电子、半导体等领域，可获得更为准确和精细的切割、打孔或蚀刻效果。

• 短脉冲宽度

激光脉冲宽度小于25ns@60kHz，激光能量在短时间内集中，实现高精度微加工。

频率60kHz，实测输出脉冲宽度为12.51 ns。

高效率加工

• 高功率输出

Marble UV-30具备高达30W@60kHz的输出功率，为各种加工应用提供稳定高效的激光能量，缩短加工过程，显著提高生产效率。

输出功率及脉宽随着频率变化的表现

• 高效能量转换

Marble UV-30采用高效的谐波转换技术，提高了激光能量的转换效率，降低能耗和运营成本。

高稳定性

• 先进的谐振腔设计和腔内热补偿技术

使得Marble UV-30在高功率运转下依然能够保持稳定输出，保证加工过程的连续性和一致性。

24h功率稳定性测试，频率60kHz，实测功率波动RMS小于0.5%。

• 三倍频晶体支持换点

独特的倍频及和频模块，配合特殊的晶体保护措施，同时三倍频晶体支持换点功能，显著延长晶体使用寿命，降低用户维护成本。

高灵活性

• 多种控制方式

Marble UV-30支持RS232控制、外部GATE和TRIGGER控制等多种控制方式，为用户提供了灵活的操作选择。

• 直观的操作界面

操作界面直观易懂，用户可以轻松上手，快速掌握设备的操作方法。

PART 02 - 技术参数

PART 03 - 应用案例

激光技术的发展历程是一个不断追求更高精度、更高效率和更广应用范围的过程。贝林激光在超快激光技术领域将持续创新和突破，积极推动加工产业转型升级。

文章来源：贝林激光

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