IXION 193 SLM是一款单频全固态激光系统，应用于光学计量、193 nm步进光学校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制等领域。小于80 MHz的光谱带宽接近其理论傅里叶极限。 该系统的中心波长可定制，范围在185至194 nm之间，并可在订购时配置为固定波长。 该系统还可以集成一台绝对光谱精度为0.001 nm的高精度光谱仪（额外选购）。这使得对激光光谱调谐的控制具有更大的精度。 产品参数：
可选附件：
应用领域：
典型性能：
波长稳定性
光斑图像
光谱特性
长时间稳定性测试 产品尺寸：
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