第二十八届全国发明展览会·“一带一路”暨金砖国家技能发展与技术创新大赛在广东省中山市小榄镇举行，来自 467 家创新主体的近千项发明创新成果现场进行展示。清华大学李星辉副教授带领的团队参赛并获全国发明展金奖，获奖项目为“光栅多轴测量技术”！

光栅多轴测量技术是一种先进测量技术，它以光栅衍射和干涉原理为基石，能够达成空间多轴位移与旋转运动的精密测量，这项技术具备诸多显著优势：高精度使其在测量工作中能提供极为准确的数据；高分辨率可捕捉到细微的变化；优异的稳定性则保障了在不同条件下测量结果的可靠性。凭借这些特性，它在精密工程测量、前沿科学研究以及工业应用等领域绽放出广阔的应用前景。

学校人员在讲解相关技术

该技术在开发的过程中使用 MKS | Newport 公司型号为 HXP50HA-MECA 的高精度六足位移台用于模拟光栅实际的空间六维位姿变化，该位移台是一款具有极高精度、稳定性和灵活性的设备，专为空间位姿的精密驱动和控制的开发而设计。其最小位移增量为 0.10 μm（X、Y轴）和 0.05 μm（Z轴），使得光栅位姿变化的微小调整可以被精确控制，确保测量系统在极高精度需求下能够稳定运行，此外位移台在 X、Y、Z 轴的最大速度分别为 14 mm/s、12 mm/s 和 5 mm/s， X、Y、Z 方向的刚性分别为 2 N/μm、2 N/μm、25 N/μm，这使其在快速运动和动态测试下仍能保持高稳定性，是进行动态模拟和验证的理想选择！该位移台能够承受 50 N 的中心负载，同时其重量仅为 2.2 kg，这为光栅系统提供了足够的支持力，同时保持了系统的轻便和灵活性。其在单向重复精度方面达到了± 0.10μm，意味着在多次运动和位置调整后，六足位移台的重复定位能力依然非常高，有助于实现光栅系统的高稳定性和可靠性。

实验平台图

HXP50HA-MECA 高精度六足位移台的高精度、快速响应和高负载能力，使其能够在光栅多轴测量技术开发过程中，模拟不同工况下的光栅位姿变化，验证系统在复杂测试环境下的表现，这些特性对于确保光栅多轴测量系统在各种应用场景中的精准度和稳定性至关重要，从而提升整个技术的测量准确性与可靠性，为光栅多轴测量技术开发的顺利进行保驾护航。

来源：MKS 光电解决方案

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